精密cnc加工系統與一般磨床不同，特別是工件不轉、磨削運動和圓周走刀運動由磨頭的公轉和自轉完成，上下走刀運動由磨頭套筒上下沖程運動完成。磨頭是執行坐標磨床主運動——磨削運動的部件。磨頭按驅動方式有高頻電動磨頭和空氣透平磨頭兩種。
    精密CNC加工目前就其質來說是要實現以現有普通精密加工手段還達不到的高精度加工，就其量來說是要加工出亞微米乃至毫微米級的外形與尺寸賴皮并獲得納米級的表面粗糙度，但究竟多少精度值才算得上超精密加工一段要視零件大小、復雜程度以及是否輕易變形等因素而定。