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精密加工是指于很大的產業發展末期,加工精度與耐酸性達至較高某種程度的加工工藝?,F階段精密加工是指加工精度為1~0.1μm,表層溫度梯度為Ra0.1~0.01μm的加工技術.
超精密加工則是指于很大的產業發展末期,加工精度與耐酸性達至最高某種程度的加工工藝。或許,在相同的產業發展末期,精密與超精密加工有相同的標準。現階段的超精密加工是指加工零件體積精度大于0.1μm,表層溫度梯度Ra小于0.025μm,機床功能定位精度的解析度和隨機性大于0.01μm的加工技術,又稱為亞nm級加工技術,并已經開始向碳納米管加工技術產業發展。
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